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磷烷

純度︰99.9997%

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產品參數 產品用途 儲裝運輸(shu) 注(zhu)意事項 急救處理

基本信息︰

 磷烷 純度︰99.9997%

 中文名:磷烷

 中文別名:磷化(hua)氫

 英文名:phosphine

 英文別名:GAS EX-B; hydrogen phosphide; Phosphine? phosphorated hydrogen;

phosphorus hydride; Phosphorus trihydride

 CAS 注(zhu)冊號︰2020-03-25

 分子量︰34.0

 分 子 式︰PH3 

 分 子 量︰34.04   

 毒 性︰劇毒

 摩爾質量︰146.05

 CAS 登錄號︰2020-03-25 

 外(wai)觀與性狀︰無色氣(qi)體,有(you)蒜臭味

 性質︰無色,劇毒,易燃燒氣(qi)體,帶有(you)令(ling)人生(sheng)厭的大蒜味ding)Sτ糜yu)多種化(hua)學(xue)反(fan)應中

物理性質︰

注(zhu)︰磷烷在 3 7 5°C以上(shang)要發生(sheng)分解 ,分解成 P和H 2 ,其反(fan)應︰2PH 3→2P+ 3H2↑

 

磷烷的堿性比氨弱 ,但還原(yuan)性較強,能(neng)使許(xu)多氧化(hua)劑還原(yuan),

 

如︰KMnO 4 、I2 等溶液,這一特征是氧化(hua)法解毒的基礎(chu)。

 

用于(yu)縮合催化(hua)劑,聚合引發劑及制(zhi)備(bei)磷的有(you)機化(hua)合物。

在電子氣(qi)家(jia)族中, 烷、磷烷、硼烷、砷(shen)烷應用量較大,是IC制(zhi)造極為重要的原(yuan)料(liao)。

 

其中的磷烷是半導體器件(jian)制(zhi)造中的重要 N型摻(chan)雜源,同時 磷烷還用于(yu)多晶 化(hua)學(xue)氣(qi)相沉澱、外(wai)延(yan) Ga P材料(liao)、離子注(zhu)人工藝、MO C V D工藝、磷 玻璃(PSG)鈍化(hua)膜制(zhi)備(bei)等工藝中。

一、泄漏應急處理

 

迅速撤fang)冑孤┤?廄嗽敝遼shang)風處,並立(li)即(ji)隔離450米,嚴格限(xian)制(zhi)出(chu)入。切(qie)斷火源chu)=jian)議應急處理人員戴(dai)自給正(zheng)壓式呼吸(xi)器,穿防(fang)毒服。盡可能(neng)切(qie)斷泄漏源chu)︰俠磽 紓 jia)速擴(kuo)散(san)。噴霧狀水(shui)稀釋(shi)、溶解。構築(zhu)圍堤或挖(wa)坑(kang)收容產生(sheng)的大量廢(fei)水(shui)。如有(you)可能(neng),將漏出(chu)氣(qi)用排風機送(song)至空曠的地方或裝設適當(dang)噴頭燒掉。漏氣(qi)容器要妥(tuo)善處理,修復chu) jian)驗後(hou)再用。

 

二、防(fang)護(hu)措施

 

呼吸(xi)系統防(fang)護(hu)︰正(zheng)常工作情況(kuang)下,佩帶過濾式防(fang)毒面(mian)具(全面(mian)罩)。高(gao)濃(nong)度環境中,必須佩戴(dai)空氣(qi)呼吸(xi)器或氧氣(qi)呼吸(xi)器。緊(jin)急事態搶(qiang)救或撤fang)朧保 jian)議佩戴(dai)空氣(qi)呼吸(xi)器。

 

眼(yan)楮(jing)防(fang)護(hu)︰戴(dai)化(hua)學(xue)安全防(fang)護(hu)眼(yan)鏡。

 

身體防(fang)護(hu)︰穿面(mian)罩式膠布(bu)防(fang)毒衣。

 

手防(fang)護(hu)︰戴(dai)橡膠手套(tao)。

 

其它︰工作現場嚴禁(jin)吸(xi)煙(yan)、進食和飲水(shui)。工作畢,淋浴(yu)更衣。保持良好的衛生(sheng)習慣。進入罐(guan)、限(xian)制(zhi)性空間或其它高(gao)濃(nong)度區作業,須有(you)人監(jian)護(hu)。

 

三、急救措施

 

吸(xi)入︰迅速脫離現場至空氣(qi)新鮮處。保持呼吸(xi)道(dao)通暢。如呼吸(xi)困難,給輸(shu)氧。如呼吸(xi)停止,立(li)即(ji)進行人工呼吸(xi)。就醫。

 

滅火方法︰消(xiao)防(fang)人員必須佩戴(dai)過濾式防(fang)毒面(mian)具(全面(mian)罩)或隔離式呼吸(xi)器、穿全身防(fang)火防(fang)毒服,在上(shang)風處滅火。切(qie)斷氣(qi)源chu)H舨荒neng)立(li)即(ji)切(qie)斷氣(qi)源,則不允許(xu)熄滅正(zheng)在燃燒的氣(qi)體。噴水(shui)冷卻容器,可能(neng)的話將容器從火場移至空曠處。滅火劑︰霧狀水(shui)、泡(pao)沫(mo)、干(gan)粉、二氧化(hua)碳。





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