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三(san)氟化氮

純(chun)度(du)︰99.999%

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產品參數 產品用(yong)途 儲裝運輸 注(zhu)意事項 急(ji)ben)卻chu)理

基本(ben)信息︰

 三(san)氟化氮 純(chun)度(du)︰99.999%

 中文名︰三(san)氟化氮

 英文名︰nitrogen trifluoride

 CAS 注(zhu)冊號︰2020-03-25

 分子(zi)式(shi)︰NF3

 分子(zi)量(liang)︰71.0019

 主要成分︰純(chun)品

 外觀(guan)與(yu)性狀(zhuang)︰無色(se)、帶(dai)霉味的氣體(ti)

 溶解性︰不(bu)溶于(yu)水

 主要用(yong)途︰用(yong)作高能燃料(liao)

 廢棄處(chu)置方法︰根據(ju)國家和地方有關法規(gui)的要求處(chu)置。或與(yu)廠商(shang)或制造商(shang)聯系,確定處(chu)置方法

物(wu)理性質(zhi)︰


化學性質(zhi)︰

 

穩定性

 

化學性質(zhi)穩定,一般條件下在(zai)水與(yu)堿溶液中均不(bu)反應(三(san)校合編無機化學第四版下冊534頁(ye)chang)  揮械dang)放電時在(zai)水中才發生NF3+2H2O==放電==HNO2+3HF。F的電負性大于(yu)H,因此NF3中的孤對(dui)電子(zi)雲由于(yu)向(xiang)F偏(pian)移而導致電子(zi)雲密度(du)比在(zai)NH3中低ting) pei)位能力下降,因此質(zhi)子(zi)化時放熱小于(yu)NH3。偶極矩與(yu)上面類似(si),大概就(jiu)是由于(yu)電負性的增強導致偶極矩的降低。

 

禁配(pei)物(wu)︰還原劑、易燃或可燃物(wu)。

 

急(ji)性毒性

 

LD50

 

LC50︰19000mg/m3,1小時(大鼠(shu)吸入);5600mg/m3,4小時(小鼠(shu)吸入)

三(san)氟化氮主要用(yong)途是用(yong)作氟化氫-氟化氣高能化學激(ji)光器的氟源,在(zai)h2-O2 與(yu)F2之間反應能的有效(xiao)部分(約25%)可以以激(ji)光輻(fu)射(she)釋放出,所 HF-OF激(ji)光器是化學激(ji)光器中最(zui)有希望的激(ji)光器。

 

 

三(san)氟化氮是微(wei)電子(zi)工業中一種優良的等離子(zi)蝕chun)唐ti),對(dui) 和氮化 蝕chun)蹋 捎yong)三(san)氟化氮比四氟化碳和四氟化碳與(yu)氧氣的混合氣體(ti)有更高的蝕chun)趟俾屎脫≡襉裕 葉dui)表面無污染,尤其是在(zai)厚度(du)小于(yu)1.5um的集成電路材料(liao)的蝕chun)討校 san)氟化氮具有非常(chang)優異的蝕chun)趟俾屎脫≡襉裕 zai)被(bei)蝕chun)濤wu)表面不(bu)留任(ren)何殘留物(wu),同時也是非常(chang)良好的清(qing)洗chun)痢/span>

 

隨(sui)著納米技術的發展和電子(zi)工業大規(gui)模的發展技術,它的需求量(liang)將日益(yi)增加。

運輸注(zhu)意事項︰

鐵路運輸時須報鐵路局(ju)進行試運,試運si)諼 僥輟J栽私 螅 xie)出試運報告,報鐵道部正式(shi)公布運輸條件。

 

采用(yong)剛瓶運輸時必須戴好鋼瓶上的安全帽。

 

鋼瓶一般平放,並應將瓶口(kou)朝同一方向(xiang),不(bu)可交叉;高度(du)不(bu)得超(chao)過車輛的防護欄(lan)板,並用(yong)三(san)角木墊卡(ka)牢,防止(zhi)滾動。

 

嚴(yan)禁與(yu)易燃物(wu)或可燃物(wu)、還原劑、食用(yong)化學品fan)然熳盎煸恕/span>

 

夏季應早(zao)晚(wan)運輸,防止(zhi)日光曝曬(shai)。

 

公路運輸時要按規(gui)定路線行駛(shi),禁止(zhi)在(zai)居yong)袂腿絲kou)稠密區停(ting)留。

 

鐵路運輸時要禁止(zhi)溜(liu)放。

 

 

儲存注(zhu)意事項︰

 

儲存于(yu)陰涼(liang)、通(tong)風的庫房。

 

遠離火種、熱源。

 

庫溫不(bu)宜超(chao)過30℃。

 

應與(yu)易(可)燃物(wu)、還原劑、食用(yong)化學品分開(kai)存放,切忌(ji)混儲。

 

儲區應備(bei)有泄漏應急(ji)處(chu)理設(she)備(bei)。

 

 

操作注(zhu)意事項

 

嚴(yan)加yong)鼙眨  ┌浞值木ju)部排風和全面通(tong)風。操作人員必須經(jing)過專(zhuan)門(men)培訓(xun),嚴(yan)格遵守(shou)操作規(gui)程。建議操作人員佩戴自吸過濾式(shi)防毒面具(半(ban)面罩),戴化學安全防護眼(yan)鏡,穿防毒物(wu)滲(shen)透工作服(fu),戴橡膠(jiao)手套。遠離火種、熱源,工作場所嚴(yan)禁吸煙。遠離易燃、可燃物(wu)。防止(zhi)氣體(ti)泄漏到工作場所空氣中。避(bi)免與(yu)還原劑接觸。搬運時戴好鋼瓶安全帽和防震橡皮圈,防止(zhi)鋼瓶踫撞(zhuang)、損壞(huai)。配(pei)備(bei)相應品種和數量(liang)的消防器材及泄漏應急(ji)處(chu)理設(she)備(bei)。

 

職業接觸限(xian)值

 

中國MAC(mg/m3)︰ 1

 

前(qian)甦聯MAC(mg/m3)︰ 未制定標準

 

TLVTN︰ ACGIH 10ppm,29mg【F】/m3

 

TLVWN︰ 未制定標準

 

工程控制︰ 嚴(yan)加yong)鼙眨  ┌浞值木ju)部排風和全面通(tong)風。

 

呼吸系統che)闌?空氣中濃度(du)較高時,應該men)宕髯暈聳shi)防毒面具(半(ban)面罩)。

 

眼(yan)楮防護︰ 戴化學安全防護眼(yan)鏡。

 

身體(ti)防護︰ 穿防毒物(wu)滲(shen)透工作服(fu)。

 

手zhi)闌?戴橡膠(jiao)手套。

 

其他防護︰ 工作現場嚴(yan)禁吸煙。保持良好的衛生習(xi)慣(guan)。

 

工作時必須要保護皮膚(fu)。氣瓶要遠離火種、熱源、應與(yu)有機物(wu)、可燃物(wu)、油脂、還原劑及氫分開(kai)存放。

 

NF3為腐蝕性氣體(ti),在(zai)<200℃時可用(yong)不(bu)銹鋼、銅、蒙乃爾。在(zai)更高的溫度(du)可用(yong)鎳和蒙乃爾。可以用(yong)聚四氟乙烯、三(san)氟氯乙烯樹(shu)脂和聚三(san)氟氯乙烯聚合體(ti)。滅火可用(yong)霧狀(zhuang)水和泡(pao)沫。泄漏的氣體(ti)可用(yong)men)歐緇潘橢鐐tong)風櫥(chu)內。廢氣或廢液要用(yong)還原劑(酸式(shi)亞硫酸鈉、亞鐵鹽等)溶液處(chu)理後,用(yong)堿灰或稀鹽酸中和ting) zai)用(yong)大量(liang)水稀釋後排入下水道。< p="">

皮膚(fu)接觸

 

脫去污染的衣著,用(yong)流動清(qing)水沖(chong)洗。若有灼傷(shang),就(jiu)醫治療。

 

眼(yan)楮接觸

 

立即翻開(kai)上下眼(yan)瞼,用(yong)流動清(qing)水沖(chong)洗15分鐘。就(jiu)醫。

 

吸入

 

迅速脫離現場至liang)掌孿蝕chu)。保持呼吸道通(tong)暢,呼吸困難時bei)溲酢︰粑ting)止(zhi)時,立即進行人工呼吸。就(jiu)醫。

 

泄漏處(chu)理應急(ji)處(chu)理

 

迅速撤(che)離泄漏污染區人員至上風處(chu),並進行隔離,嚴(yan)格限(xian)制出入。切斷火源。建議應急(ji)處(chu)理人員戴自給正壓式(shi)jiao)粑鰨 ┐藍痙fu)。盡(jin)可能切斷泄漏源。合理通(tong)風,加速擴散。漏氣容器要妥善處(chu)理,修(xiu)復、檢驗後再(zai)用(yong)。





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